A molecular dynamics simulation of the effect of near-surface gas-phase collisions on final velocities of sputtered ions.

Autoři publikace: 
Kuba, P.
Lorinčík, J.
Anders, C.
Urbassek, H.M.
Rok: 
2013
DOI: 
10.1002/sia.4964
Bibliografický formát: 

Kuba, P. ; Lorinčík, Jan ; Anders, C. ; Urbassek, H.M. A molecular dynamics simulation of the effect of near-surface gas-phase collisions on final velocities of sputtered ions. Surface and Interface Analysis (2013)

Tým: 
Příprava a charakterizace nanomateriálů
ASEP

ÚFE provádí základní a aplikovaný výzkum v oblasti fotoniky, optoelektroniky a elektroniky. ÚFE příspívá k rozvoji poznání v těchto oblastech a vytváří širokou bázi znalostí, jako základ pro vývoj nových špičkových technologií.

Kontakt

+420 266 773 400
ufe@ufe.cz
Datová schránka: m54nucy
IČ: 67985882
DIČ: CZ67985882