Laboratoř elektronové a iontové mikroskopie a mikroanalýzy

Charakterizace povrchů metodou rastrovací elektronové mikroskopie, energiově disperzní rentgenové spektroskopie, katodoluminiscence a metodou hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů typu FIB TOF SIMS.

1. Rastrovací elektronový mikroskop TESCAN LYRA3 GM v konfiguraci s SE a BSE detektory v komoře, In-beam SE a In-beam BSE detektory v tubusu, zdroj iontů Ga+ typu FIB, systém GIS pro vstřikování 5 plynů, hmotnostní spektrometr typu TOF, dekontaminátor.

Charakterizace povrchů metodou energiově disperzní rentgenovské spektroskopie a metodou katodoluminiscence

1. Rastrovací elektronový mikroskop Philips XL30 ESEM v konfiguraci s SE a BSE detektory v komoře, EDX detektorem a katodoluminiscenčním detektorem.
2. Napařovačka uhlíku Quorum Technologies Q150R E.
3. Optický mikroskop OLYMPUS BX51 s Nomarskiho kontrastem